云南净化工程洁净室里的温度和标准气压操纵

1、洁净室里的温湿度控制

清洁区域的温度湿度主要是根据工艺标准来决定，但达到工艺标准的条件下，应注意到你的舒适性感。伴随着气体洁净度规定的提升，出现加工工艺对温度湿度的需求也越来越严格的态势。

实际加工工艺对温度的需求之后还要例举，但是作为总体标准看，考虑到尺寸精度愈来愈细致，因此对温度波动幅度的需求愈来愈小。比如在大规模集成电路制造的光刻技术曝出工艺中，做为掩膜板原材料玻璃与硅片的线膨胀系数的差规定愈来愈小。

孔径100um的硅片，温度升高1度，就引起了0.24um线性澎涨，所以必须要有±0.1多度控温，并要求环境湿度值一般比较低，由于人出汗之后，对产品质量即将迎来环境污染，尤其是怕锌的半导体材料生产车间，这类生产车间不宜超过25度。

湿度太高所产生的难题大量。空气湿度超出55%时，冷却管内壁会冷凝水，如果出现在高精密设备或电路板上，就会引发各种各样安全事故。空气湿度在50%最易锈蚀。除此之外，湿度过高时把根据空气中的水分子把硅片表面黏着的尘土化学吸附在表面耐无法消除。

空气湿度越大,黏附的难除掉，但是当空气湿度少于30%时，又因为静电感应力作用使颗粒也很容易吸咐于表面，与此同时很多半导体元器件很容易发生穿透。针对硅片生产制造更好温度范围包括35—45%。

2、洁净室里的标准气压要求-云南净化工程

对于大多数清洁室内空间，为了避免外部环境污染进入，需要保持内部工作压力（负压）高过外部工作压力（负压）。压力差的保持一般必须符合下列标准：

1．清洁室内空间压力要高于非清洁室内空间压力。

2.洁净度级别高空间压力要高于邻近的洁净度等级低室内空间压力。

3.互通洁净室中间房门会开向洁净度等级强的屋子。

压力差的维系借助排风量，这一排风量能够赔偿在这一压力差下从间隙漏泄掉排风量。因此压力差的物理意义便是漏泄（或渗入）排风量根据洁净室的各类间隙时的摩擦阻力。